Плазмаас химийн ууршилтын тунадасжилт (PECVD) процесст RF цахилгаан дамжуулахаас эхлээд процессын хийн хяналт хүртэлх цахилгаан холболт бүр нь нимгэн хальсан тунадасжилт болон чипийн гарцын жигд байдалд шууд нөлөөлдөг. Жижигрүүлсэн тоног төхөөрөмж, өндөр вакуум, хүчтэй цахилгаан соронзон хөндлөнгийн оролцооны хатуу ширүүн орчинтой тулгарах,WAGO"Авсаархан байдал, найдвартай байдал, үр ашиг" гэсэн гурван үндсэн давуу талтай picoMAX® холбогч нь PECVD системүүдийн хамгийн тохиромжтой холболтын шийдэл болсон.
Шинэлэг авсаархан дизайн
Нарийвчлалтай камерын зохион байгуулалтад дасан зохицох
PECVD төхөөрөмжийн дотоод орон зай хязгаарлагдмал тул урвалын камерын эргэн тойронд цахилгаан, дохио, мэдрэгч шугамыг нягт байрлуулах шаардлагатай. picoMAX® нь 3.5/5.0/7.5 мм-ийн олон зүүний налуутай нэг пүрштэй, давхар үйлчилгээтэй загварыг ашигладаг. Хослосны дараа өмнөх бүтээгдэхүүнүүдээс 30% бага зай эзэлдэг бөгөөд камерын эргэн тойрон дахь утаснуудын шаардлагад төгс зохицдог. Нүх хэлбэрийн холбогч нь зүү толгойд бараг бүрэн суулгагдсан бөгөөд туйлуудыг алдалгүйгээр зэрэгцүүлэн угсрах ажлыг дэмжиж, хэлхээний самбарын ашиглалтыг мэдэгдэхүйц сайжруулж, процессын хийн урсгалын талбарт саад учруулахгүйгээр дохио болон цахилгаан шугамыг эмх цэгцтэй байрлуулах боломжийг олгодог.
Хэт хүнд ажиллагааны нөхцөл байдлаас найдвартай хамгаалалт
PECVD процессууд нь өндөр вакуум, өндөр давтамжийн плазм болон чичиргээний орчинг хамардаг бөгөөд холбогчийн найдвартай байдалд хатуу шаардлага тавьдаг. picoMAX® нь 12г хүртэл чичиргээний эсэргүүцэлтэй тогтвортой бүтэцтэй бөгөөд өндөр давтамжийн чичиргээнээс үүдэлтэй холболт суларахаас сэргийлдэг. Мөн буруу оруулгын эсрэг загвар болон түгжих төхөөрөмжийг багтаасан бөгөөд угсралтын алдааг арилгаж, санамсаргүй салгалтаас сэргийлж, тоног төхөөрөмжийн тасралтгүй ажиллагааг тасалдалгүйгээр хангадаг.
Хэрэгсэлгүй хурдан холболт
picoMAX® нь багаж хэрэгсэлгүй хурдан холболтын технологитой бөгөөд хүйтэн шахалттай холбогчтой дан болон олон судалтай утсыг "залгаад барь" холболт хийх боломжийг олгодог. Нарийн төвөгтэй утсан холболтыг нэг алхамаар гүйцэтгэдэг бөгөөд угсралтын үр ашгийг мэдэгдэхүйц сайжруулж, дибаг хийх мөчлөгийг богиносгодог. Модульчлагдсан загвар нь автоматжуулсан үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах хэрэгцээг хангаж, дахин урсгалтай гагнуурын процессуудтай нийцдэг. Мөн PECVD холболтын бүх хувилбаруудыг хамардаг: 3.5 мм зүүний алхам нь 0.2-1.5 мм² дохионы утсыг багтаадаг бол 5.0/7.5 мм зүүний алхам нь 16А цахилгааны шугамыг дэмждэг. Энэ нь утаснаас хавтан руу болон ханаар суурилуулах аргыг дэмждэг, хяналтын шүүгээ болон хөндийн утастай нийцдэг бөгөөд GB/T 5226.1 цахилгааны аюулгүй байдлын стандартыг дагаж мөрддөг бөгөөд процессын тогтвортой байдлыг хангах бат бөх хамгаалалтыг бий болгодог.
Нанометрийн түвшний процессын нарийвчлал хамгийн чухал байдаг хагас дамжуулагчийн салбарт найдвартай холболтууд нь өндөр гарцын баталгаа болдог.WAGOХувьсгалт бүтээгдэхүүний дизайны концепцтой picoMAX® нь авсаархан хүрээнд "жижиг хэмжээ, өндөр гүйцэтгэл"-ийг бий болгож, PECVD тоног төхөөрөмжид тогтвортой, үр ашигтай, удаан эдэлгээтэй холболтын шийдлүүдийг санал болгодог. Энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдэд нарийн процессын холболтын бэрхшээлийг даван туулж, чип бүрийн микрометрийн түвшний нарийвчлалыг хамгаалахад тусалдаг.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 3-р сарын 13